מסכת רנטגן – X-ray mask by electroplating
מסכת רנטגן – X-ray mask by electroplating microparts by means of X-ray, e-beam, UV and 2-photon lithography and by electroplating מסכת רנטגן – זוהי מסכה עם הצורה המשלימה של הציוד מוכנה על ידי שימוש בסרט דק של זהב על בריליום. זה מבטיח שמסכת הרנטגן מאפשרת העברה של קרני הרנטגן המתאימות לחומר הפוטו-רזיסט בלבד. עוצבה עבור …