מקור אור אולטרא סגול קיצוני / סגול על – EUV Light Source
מקור אור אולטרא סגול קיצוני / סגול על – EUV Light Source Extreme ultraviolet light source מקור אור אולטרא סגול קיצוני / סגול על – EUV Light Source קרינת אולטרה סגול קיצוני היא באורך גל של 200 עד 10 נאנומטר. נעשה בה שימוש בתהליך ליתוגרפיה שבו מיצרים שבבי סיליקון. הודות לשימוש במקור אור אולטרה סגול …
