מערכת ראייה למציאת מיקום מדוייק בתבנית מזערית – Image acquisition system for detecting precise sample position

מערכת ראייה למציאת מיקום מדוייק בתבנית מזערית – Image acquisition system for detecting precise sample position

image acquisition system

המערכת מסוגלת לאתר משטחים מזעריים אשר בם ניתן לקדוח או לערוך עיבוד על ידי לייזר מהיר

לפרטים נוספים ולייעוץ – צרו עימנו קשר

תרגום גוגל

Machine Vision הוא מערכת רכישת תמונה המוקדשת לזיהוי מיקום מדגם מדויק. דיוק גבוה של שלבי מיצוב ומערכת אספקת קרן מתקדמת להבטיח כי דפוס מפוברק יהיה בכושר ואיכות רצויים, בזמן שמכונת החזון מוביל להצבה המדויקת של דפוס על עמדה מוגדרת מראש לפי הצורה והמיקום של מדגם.

תצורת מערכת כדי להשיג רמת דיוק גבוהה ואיתור מדגם במהירות גבוהה, לאור המדגם הוא נתפס על ידי שתי מצלמות:

1. צד רכוב מצלמה עם מטרת זווית רחבה כדי לזהות את עמדת מדגם גסה.

2. תקורה רכובה מצלמה כדי לזהות מיקום מדויק מדגם (מיקרו-ניטור).

כדי לזהות את עמדת מדגם, Machine Vision יש לזהות אובייקטים שנקבעו מראש (חורים, תחריטים של המדגם או כל סימונים מנוגדים אחרים).

חזון מכונת משולב לתוכנת micromachining לייזר SCA כמודול נוסף.

תהליך זיהוי

תהליך האיתור מעט שונה בהתאם לתצורת מערכת. מערכות עם צירים ליניארי XY התאגד וציר סיבובי מוגדרות כדי להתאים את המדגם על פי מיקום וכיוון רצויים. אחרת, מערכות ללא ציר סיבובי מסודרות למקום המדגם בתוך מיקום נכון, באמצעות positioners XY ולאחר מכן לסובב מסלולי עיבוד כמעט, המבוססות על תור מזוהה של המדגם. אלגוריתמים לראיית מכונה מיושמים ומותאמים לכל מקרה ספציפי על ידי כיול המצלמות ועושים תיאורים על “מה לחפש”. ברגע שמערכת ראיית מכונת מיושמת ומותאמת, יישום של אלגוריתם זיהוי נוסף הוא עלות אפקטיבית. MASTER ותחנות עבודת MiniMASTER ניתן מצוידים פונקציונלי Machine Vision.

מערכת ראייה למציאת מיקום מדוייק בתבנית מזערית – Image acquisition system for detecting precise sample positionX מערכת ראייהX מיקום מדוייק בתבנית מזעריתX high accuracy and high speed sample detectionX high accuracy sample detectionX high speed sample detectionX Side mounted camera with wide angle objectiveX detect rough sample positionX micro-monitoringX Overhead mounted camera to detect precise sample positionX High accuracy of positioning stages